自动清洗:
设备内部有一个密闭的清洗腔室,用于放置待测工件。
通过多个角度精准布置的喷嘴,高压喷射清洗液(通常是超纯水、异丙醇或特定溶剂),对工件内外表面进行360°无死角的冲洗。
“自动”体现在:程序控制清洗压力、时间、流量和喷臂的旋转,确保每次清洗的工艺参数一致,结果可比。
萃取(Extraction):
这是指将已经从工件表面冲洗下来的污染物,从清洗液中分离出来的过程。
冲洗后的污染液体(含有颗粒)会流入设备下部的储液槽。
真空过滤:
设备内置一个真空泵,通过抽真空的方式,迫使含有污染物的清洗液通过一个特定孔径(如5μm)的滤膜。
所有颗粒物都会被截留在滤膜表面,而干净的液体则被抽走。
这张承载了所有污染物的滤膜,就是后续分析的样本。
2025-08-22
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